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江蘇昆山市錦溪鎮(zhèn)昆開(kāi)路28號(hào)
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LCD/半導(dǎo)體行業(yè)廢氣處理詳情
LCD/半導(dǎo)體行業(yè)廢氣處理簡(jiǎn)述:
半導(dǎo)體制造業(yè)是集合物理、電子、電機(jī)、光學(xué)、化學(xué)、材料及管理科學(xué)的高科技工業(yè)。電子行業(yè)主要是元器件組裝焊接過(guò)程中對(duì)大氣的污染和電路板等器件清洗等表面處理過(guò)程中因使用一些化學(xué)藥劑(如硫酸、鹽酸、氟氯化碳、四氯化碳、三氯乙烷及其他有機(jī)鹵化物)揮發(fā)造成對(duì)大氣環(huán)境的污染,以及整機(jī)裝配過(guò)程中產(chǎn)生的機(jī)械噪聲和少量粉塵也會(huì)造成環(huán)境污染,這些污染氣體會(huì)造成人群慢性或急性中毒。由于半導(dǎo)體元件制程中,使用多種酸堿溶液、有機(jī)溶劑及特殊的有毒氣體,其產(chǎn)生的廢氣及有毒物質(zhì)污染強(qiáng)度大,若做不好污染防治工作,將造成嚴(yán)重的環(huán)境污染。目前更先進(jìn)的處理方法有:蓄熱式氧化法(RTO)、濃縮轉(zhuǎn)輪+RTO、熱力燃燒法(TO)、催化燃燒法、吸附法、吸收法。